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以类金刚石（DLC）薄膜／基体建立理论计算模型，以粘结界面端点为顶点，采用Airy函数，建立应力随r变化的函数关系，得到界面表面的应力表达式，从而计算出膜／基结合体系在热应力下的应力分布，并采用有限元软件ABAQUS对计算结果进行了验证，证实了理论模型的可行性。
薄膜复合结构界面端热应力分布研究
【摘 要】
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以类金刚石（DLC）薄膜／基体建立理论计算模型，以粘结界面端点为顶点，采用Airy函数，建立应力随r变化的函数关系，得到界面表面的应力表达式，从而计算出膜／基结合体系在热应力下的应力分布
【机 构】
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黄河科技学院,郑州大学
【出 处】
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山西建筑
【发表日期】
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2011年11期
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