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描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。包括堆叠环栅(GAA)纳米线晶体管技术,基于高迁移率材料的晶体管技术,低功耗晶体管器件技术,新型碳基及二维电子器件。
逻辑器件的新进展
【摘 要】
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描述集成电路国际主流技术的发展方向,分析集成电路先进技术的发展趋势。包括堆叠环栅(GAA)纳米线晶体管技术,基于高迁移率材料的晶体管技术,低功耗晶体管器件技术,新型碳基
【机 构】
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复旦大学微电子学院
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2020年2期
【基金项目】
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上海经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项资金(1800505)
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