【摘 要】
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与传统基于石油原料的光刻材料相比,基于天然高分子的可再生光刻材料不仅保留了高分辨率的光刻性能,还具有绿色可再生和无毒显影等优点.重点综述了天然高分子光刻材料中的蛋白类光刻材料和多糖类光刻材料,总结了各种天然高分子光刻材料的优缺点.通过对不同材料光刻机理的深入研究,总结出蛋白质光刻材料的光刻机理主要依靠辐射改变蛋白结构,使其溶解度在显影液中发生改变实现光刻;而天然多糖类光刻材料则主要依赖引入光响应基团实现光刻.最后对基于天然高分子的可再生光刻材料的现存问题进行了分析并对发展前景作出了展望.
【机 构】
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昆明理工大学 化学工程学院,云南 昆明 650504
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与传统基于石油原料的光刻材料相比,基于天然高分子的可再生光刻材料不仅保留了高分辨率的光刻性能,还具有绿色可再生和无毒显影等优点.重点综述了天然高分子光刻材料中的蛋白类光刻材料和多糖类光刻材料,总结了各种天然高分子光刻材料的优缺点.通过对不同材料光刻机理的深入研究,总结出蛋白质光刻材料的光刻机理主要依靠辐射改变蛋白结构,使其溶解度在显影液中发生改变实现光刻;而天然多糖类光刻材料则主要依赖引入光响应基团实现光刻.最后对基于天然高分子的可再生光刻材料的现存问题进行了分析并对发展前景作出了展望.
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