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研究了利用液态源雾化化学沉积（LSMCD）法制备梯度钛酸锶钡（BST）薄膜的工艺。该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度，又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小。X-射线衍射（XRD）和扫描电镜（SEM）分析表明：沉积8次，采用常规退火方式，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上能成功制备出具有钙钛矿结构的、晶粒粒径约φ80nm、厚约850nm的梯度BST薄膜。该BST梯度薄膜在常温下介电常数达526，介电损耗约为0．06，矫顽场强约为100kV／cm，剩余极化强度约为1