【摘 要】
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针对精密加工设备的微位移隔振问题，设计了一种以压电陶瓷为作动器的新型智能微位移主动隔振控制系统，在NIPXI数据采集系统和BK激振器的基础上，搭建了该系统的实验平台，提出将有
【机 构】
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青岛理工大学机械工程学院,中国工程物理研究院
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针对精密加工设备的微位移隔振问题，设计了一种以压电陶瓷为作动器的新型智能微位移主动隔振控制系统，在NIPXI数据采集系统和BK激振器的基础上，搭建了该系统的实验平台，提出将有源噪声控制理论应用到微位移振动的主动控制中，开发了在LabVIEW软件环境下整个系统的数据采集和F-XLMS控制算法的控制程序，分别在正弦、扫频和随机激励信号下进行微位移主动隔振实验研究，结果表明三种激励信号受控后的振动位移大幅度降低，验证了该系统对微位移主动隔振的有效性，为精密仪器、微纳米设备的微位移智能主动隔振系统设计奠定了基础。
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