一种新型气敏传感器的研究

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【摘要】

：

本文以一种新型有机半导体材料--三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物(Pr[Pc(OC8H17)8]2) 为气敏材料,利用Langmuir-Blodgett(LB)超薄膜技术,将Pr[Pc(OC8H17)8]2以1:3的配比

【作者】

：

谢丹蒋亚东姜健壮吴志明李言荣潘伟

【机构】

：

清华大学材料科学与工程系,电子科技大学信息材料工程学院,山东大学化学系

【出处】

：

电子学报

【发表日期】

：

2001年8期

【关键词】

：

气体传感器化学场效应管 MOSFET 二氧化氮镨双酞菁配合物 Chemically sensitive field effect transistors F

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本文以一种新型有机半导体材料--三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物(Pr[Pc(OC8H17)8]2) 为气敏材料,利用Langmuir-Blodgett(LB)超薄膜技术,将Pr[Pc(OC8H17)8]2以1:3的配比与十八烷醇(OA)的混合LB多层膜(Pr[Pc(OC8H17)8]2/OA)拉制在自行设计的场效应晶体管上,形成了一种新型的以LB膜取代通常的MOSFET中栅金属的化学场效应管器件.将该器件放入NO2气体中,随着气体浓度和LB膜层数的变化,器件的漏电流IDS将产生0.05×10

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