【摘 要】
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激光波数扫描干涉是一种新型激光干涉测量方法,具有稳定性好、测量精度高等优点。为了提高测量的精度,采用基于迈克尔逊干涉仪的波数扫描干涉的方法,并且对激光波数扫描干涉
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激光波数扫描干涉是一种新型激光干涉测量方法,具有稳定性好、测量精度高等优点。为了提高测量的精度,采用基于迈克尔逊干涉仪的波数扫描干涉的方法,并且对激光波数扫描干涉进行了理论分析和实验验证。并且运用矩阵的特征值分解与最小二乘法相结合的方法（EDLSA）对数据进行解调。此方法是一种广义的傅里叶变换,采用盲信号处理方式,不需要一些先验知识;并且通过和2D傅里叶变换的方法进行比较,证明此方法是可行的;并且EDLSA的测量精度16.86nm,而傅里叶变换的测量精度18.17nm。
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