【摘 要】
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文章介绍的有效化扫描是不改变工艺参数，仅改变机械运动就能缩短注入时间的方法。传统注入工艺中，扫描往返运动会产生大量的额外注入时间。有效化扫描通过数字信号处理器检测和
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文章介绍的有效化扫描是不改变工艺参数，仅改变机械运动就能缩短注入时间的方法。传统注入工艺中，扫描往返运动会产生大量的额外注入时间。有效化扫描通过数字信号处理器检测和分析，找到圆片脱离束流的瞬间（此时dIB／dt=0；d^2IB／dt^2〈0，且检测出的点与标准扫描时的一致），改变扫描运动方向。通过缩短扫描往返路程来减少实际注入时间。
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