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分析了溅射积附时金属镀层内应力的起因、本质及表现形式，讨论了镀层应力，本征应力和热应力的影响因素，并对镀层粘合力进行了研究。
溅射积附时金属镀层内应力的研究
【摘 要】
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分析了溅射积附时金属镀层内应力的起因、本质及表现形式，讨论了镀层应力，本征应力和热应力的影响因素，并对镀层粘合力进行了研究。
【机 构】
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华东理工大学化工机械研究所
【出 处】
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化工装备技术
【发表日期】
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1995年03期
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