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分别采用双槽法和单槽法制备了不同调制波长的Cu／Ni多层膜，研究了多层膜硬度与调制波长之间的关系。结果表明，当调制波长大于33nnl时．硬度与调制波长的关系符合Hall—Perch关系式；小于33nm时，偏离了Hall～Perch关系式；等于21nm时，硬度出现了峰值，约为HV451．8。
电沉积Cu／Ni多层膜硬度与调制波长关系的研究
【摘 要】
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分别采用双槽法和单槽法制备了不同调制波长的Cu／Ni多层膜，研究了多层膜硬度与调制波长之间的关系。结果表明，当调制波长大于33nnl时．硬度与调制波长的关系符合Hall—Perch关系式
【机 构】
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河南科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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河南科技大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年3期
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