【摘 要】
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在优化薄膜制备工艺的基础上，通过实验对Cu、CuNi薄膜的电阻率与T型薄膜热电偶（TFTC）灵敏度之间的关系进行了研究。首先，通过设计正交试验，以Cu、CuNi薄膜电阻率为考察指标，得到了
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在优化薄膜制备工艺的基础上，通过实验对Cu、CuNi薄膜的电阻率与T型薄膜热电偶（TFTC）灵敏度之间的关系进行了研究。首先，通过设计正交试验，以Cu、CuNi薄膜电阻率为考察指标，得到了影响电阻率的主次因素以及各工艺参数对薄膜电阻率的影响规律。然后根据实验结果确定工艺参数条件，制备出了薄膜电阻率不同的3个T型薄膜热电偶，并对其灵敏度进行了实验标定。标定结果表明：T型薄膜热电偶的薄膜电阻率越小，其灵敏度越大。
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