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采用两种有机金属化合物为起始原料,用溶胶-凝胶法通过合理控制反应条件,制备出β-SiC凝胶粉体,然后在Ar气氛、900~1300℃下热处理,制备出了纯度非常高、颗粒尺寸在10nm左右的β-SiC纳米粉体.产物纯度达到99.92%.利用X-ray粉晶衍射和透射电镜(TEM)结合Ramah光谱对制得的粉体进行了形貌、结构及颗粒尺寸系统研究.讨论了反应温度对β-SiC纳米粉体颗粒生长机制的影响.