Study of Piezoresistive Micro Electro-Mechanical Accelerometer Design Platform

来源 :Journal of Beijing Institute of Technology(English Edition) | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianyawoaiai

【摘要】

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According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical acceleromet

【作者】

：

张菁华石庚辰

【机构】

：

SchoolofMechatronicsEngineering

【出处】

：

Journal of Beijing Institute of Technology(English Edition)

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

微型电子机械系统加速剂传感器半自动设计 micro electro-mechanical system sensor computer aided des

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According to the inland micro electro-mechanical system (MEMS) process technique level, a design platform of piezoresistive micro electro-mechanical accelerometer is given. This platform is much more adaptable to the inland designer compared with the curr

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