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以In、Sn硫酸盐为原料，采用超声波与化学共沉淀相结合的方法制备纳米ITO粉末，用TEM，SEM，XRD，BET等现代分析测试手段对制备的粉末进行表征。在反应温度为60～75℃，In^3＋浓度〈160g／L，氨水浓度〈400g／L，终点pH为6．8～8的条件下，得到的纳米ITO粉末颗粒呈球状，团聚少、分散性好，In2O3：SnO2（质量）=9：1，平均粒径〈50nm，比表面积〉15m^2／g。