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期刊论文
绿色制造模式下多品硅关键生产工艺提升研究
绿色制造模式下多品硅关键生产工艺提升研究
来源 :信息技术与标准化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:david6357
【摘 要】
:
针对国内外主流的改良西门子法多晶硅制备工艺存在的高能耗、低效率、投资成本高等问题,引入绿色制造理念与技术,采用先进冷氢化技术、多晶硅生产线资源再利用技术及不凝气深
【作 者】
:
祁麟
黄贞静
王子帅
公静
【机 构】
:
中国电子技术标准化研究院
【出 处】
:
信息技术与标准化
【发表日期】
:
2020年6期
【关键词】
:
多晶硅
改良西门子法
绿色制造
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针对国内外主流的改良西门子法多晶硅制备工艺存在的高能耗、低效率、投资成本高等问题,引入绿色制造理念与技术,采用先进冷氢化技术、多晶硅生产线资源再利用技术及不凝气深度回收技术等技术,对多晶硅生产设备、技术、回收利用等制备环节进行改善,实现工艺优化、节能降耗、减轻污染和质量提升.
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