【摘 要】
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研究了基于电火花机械复合磨削技术加工的反应烧结碳化硅（RB-SiC）陶瓷的表面特征。用电火花机械复合磨削（EDDG）、电火花磨削（EDG）以及普通磨削（CG）三种方法加工RB-SiC陶瓷,并采用激光
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨理工大学机电学院
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研究了基于电火花机械复合磨削技术加工的反应烧结碳化硅（RB-SiC）陶瓷的表面特征。用电火花机械复合磨削（EDDG）、电火花磨削（EDG）以及普通磨削（CG）三种方法加工RB-SiC陶瓷,并采用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜对加工后的SiC陶瓷的表面粗糙度、表面形貌及微观裂纹进行测量和对比试验,获得了RB-SiC陶瓷的EDDG加工特性。实验显示：EDDG加工的RB-SiC陶瓷的表面粗糙度优于EDG加工的表面粗糙度,为0.214 9μm,但比CG加工的表面粗糙度0.195 6μm略差。对加工后的SiC陶瓷
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