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微电子技术的不断进步导致了纳米（ｎｍ，１０￣－９ｍ）技术的诞生。纳米技术是研究及制作小于１００ｎｍ结构的一门科学。这门科学的发展，给基础科学研究提供了一项工具，同时也导致新一代微电子器件的产生。例如单电子学就是随着纳米技术的发展而出现的。单电子器件有可能提供下一代计算机技术的基础。
纳米技术
【摘 要】
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微电子技术的不断进步导致了纳米（ｎｍ，１０￣－９ｍ）技术的诞生。纳米技术是研究及制作小于１００ｎｍ结构的一门科学。这门科学的发展，给基础科学研究提供了一项工具，同时也导致新一代微电子器件的产生。例
【机 构】
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英国剑桥大学卡文迪许实验室
【出 处】
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自然辩证法研究
【发表日期】
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1995年12期
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