【摘 要】
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纳米压痕技术已经被广泛地用于在纳米尺度上评价材料的力学性能,而建立于1992年的经典Oliver-Pharr(OP)方法则是分析纳米压痕实验数据的最常用方法。本文详细介绍了OP方法的
【机 构】
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清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
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纳米压痕技术已经被广泛地用于在纳米尺度上评价材料的力学性能,而建立于1992年的经典Oliver-Pharr(OP)方法则是分析纳米压痕实验数据的最常用方法。本文详细介绍了OP方法的理论基础及其数据处理技术,并结合纳米压痕技术在陶瓷材料弹性模量及硬度测试中的应用,对影响OP方法测试精度及测试可靠性的各种可能因素进行了分析。
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