转向SMIF的关键意义在于可满足低成本高效率的晶片生产需求

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangzhaohai

【摘要】

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3月17日，在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上，Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF

【出处】

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集成电路应用

【发表日期】

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2004年4期

【关键词】

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SMIF 标准机械界面芯片制造业自动化物料搬运系统成本

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3月17日，在中国上海举行的2004年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会上，Asyst Technologies董事长兼首席执行官Stephen Schwartz将使中国的宏大计划—采用标准机械界面(SMIF)和自动化物料搬运系统(AMHS)技术创建高度自动化的200mm和300mm fab—闪亮登场。他说：“今年，我们

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