【摘 要】
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针对中红外目标探测需求,采用多个截止带拼接的设计方法,结合TFCal膜系设计软件优化各个膜层厚度,得到了中红外双通道滤波器膜系.通过对膜系敏感层的分析,将总膜系分成两个膜
【机 构】
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上海理工大学材料科学与工程学院,上海200093;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心,上海200083;上海师范大学数理学院,上海200234;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心,上海200083;上海节
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针对中红外目标探测需求,采用多个截止带拼接的设计方法,结合TFCal膜系设计软件优化各个膜层厚度,得到了中红外双通道滤波器膜系.通过对膜系敏感层的分析,将总膜系分成两个膜系进行镀膜,成功制备出2.7～3.0 μm和4.1～4.4 μm双通道滤波器.得到的样品在2.7～3.0μm波段平均透过率为73％,在4.1～4.4μm波段平均透过率为81％.该方法提高了膜系设计效率,减少了膜层数和总厚度,可解决膜系过厚带来的开裂和脱膜等问题,节约了镀膜时间和成本.
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