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利用羰基金属气相沉积的方法,以Fe(CO)5和Mo(CO)6为源,在Al2O3陶瓷基片上,制备了具有一定的化学组成和稳定的显微结构的Fe/Mo表面合金化层,大大提高了材料的表面性能.作为表面改性的新技术,可以广泛应用于许多重要的技术领域.
羰基金属气相沉积方法进行Al2O3基片表面合金化研究
【摘 要】
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利用羰基金属气相沉积的方法,以Fe(CO)5和Mo(CO)6为源,在Al2O3陶瓷基片上,制备了具有一定的化学组成和稳定的显微结构的Fe/Mo表面合金化层,大大提高了材料的表面性能.作为表
【机 构】
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西南师范大学化学化工学院
【出 处】
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西南师范大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2002年4期
【基金项目】
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教育部科学技术研究项目
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