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研究了小尺寸芯片电容的仿真以及加工工艺,分析了芯片电容的边界效应,优化了加工过程中的关键工艺。在此基础上加工出一种小尺寸芯片电容,并进行了性能测试,达到了使用要求,对小尺寸芯片电容的加工制造具有较好的借鉴意义。
小尺寸芯片电容加工工艺研究
【摘 要】
：
研究了小尺寸芯片电容的仿真以及加工工艺,分析了芯片电容的边界效应,优化了加工过程中的关键工艺。在此基础上加工出一种小尺寸芯片电容,并进行了性能测试,达到了使用要求,
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第五十四研究所
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
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2019年5期
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