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高频,高温超声换能器

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：namezhu

【摘要】

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100％(002)取向的AlN压电膜经过化学气相沉积(CVD)工艺被淀积在石英、蓝宝石和LMN陶瓷上。在1020-1040K的温度区间其生长率达到>20nms~(-1)。这些膜具有已知的任何压电材料最高

【作者】

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【出处】

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传感器技术

【发表日期】

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1993年1期

【关键词】

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超声换能器氨化铝高频高温

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100％(002)取向的AlN压电膜经过化学气相沉积(CVD)工艺被淀积在石英、蓝宝石和LMN陶瓷上。在1020-1040K的温度区间其生长率达到>20nms~(-1)。这些膜具有已知的任何压电材料最高的数值(125)和绝缘强度(>2×10~7Vcm~(-1))。其相对介电常数约为8.6,厚向(机电)耦合系数K_t值为20％。这种膜在≤1430K温度显示出超声响应。30MHz纵波换能器产生在石英延迟棒上的信号强度和在ZnO器件上产生的信号强度相差不大。未被冷却的、高温超声器件是使用取

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