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虽然工艺和良率控制离不开量测技术。但对于量测、整合量测、原位量测、原位传感器、工艺和设备传感器却没有形成统一的定义。因此存在严重的混淆。
整合量测技术的新应用和定义
【摘 要】
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虽然工艺和良率控制离不开量测技术。但对于量测、整合量测、原位量测、原位传感器、工艺和设备传感器却没有形成统一的定义。因此存在严重的混淆。
【机 构】
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Sematech,ISMI
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年8期
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