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FARO Laser Tracker Xi是一款便携的接触式测量系统，该系统采用激光技术，广泛应用于工业应用领域中大型零件和机械的精确测量。其直径范围可以达到70m，其3D单点精度可达0．003mm，而且十分坚固耐用，适用于工厂环境。该系统使用标靶反光镜沿着测量工件表面移动，激光跟踪仪投射光束，实现3D测量。