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介绍了用于生长SiGe材料的3UCVD设备的简要情况.对3UCVD工艺系统构建了神经网络模型;基于误差反向传播(BP)学习算法设计了一种自动调整网络结构和训练精度的网络训练方法;利用3UCVD工艺实验的数据样本编制程序,对数据样本进行了训练拟合;并利用训练后的网络进行了工艺预测,网络预测的结果和实验结果符合良好.