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提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法，可在１０μｍ内实现０．０１μｍ的微动分辨力。该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中，达到了满意的效果。
压电器件在微位移系统中的应用
【摘 要】
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提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法，可在１０μｍ内实现０．０１μｍ的微动分辨力。该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中，达到了满意的效果。
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试及控制系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2000年4期
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