紫外激光刻蚀多层线路板初步研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ifever2006

【摘要】

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描述了固体倍频紫外激光在 35 5nm和 2 6 6nm ,不同聚焦透镜实验条件下 ,对多层电路板的微刻蚀实验 ,进行了其传热一维模型的理论推导 ,并得到了在实验条件下最佳的理论参数

【作者】

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凌磊楼祺洪叶震寰董景星魏运荣

【机构】

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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800,上海2018

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

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2003年10期

【关键词】

：

激光技术紫外激光刻蚀多层线路板

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描述了固体倍频紫外激光在 35 5nm和 2 6 6nm ,不同聚焦透镜实验条件下 ,对多层电路板的微刻蚀实验 ,进行了其传热一维模型的理论推导 ,并得到了在实验条件下最佳的理论参数为波长 2 6 6nm ,峰值功率大于 2× 10 6J/s ,聚焦透镜焦距为 2 0 0mm ,为激光修复多层线路板的工业应用提供了一定的实验依据

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