Characterization and Stability of Na-doped p-type ZnO Thin Films Preparation by Reactive DC Magnetr

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：toughlee

【摘要】

：

Na-doped p-type ZnO thin films have been realized by DC reactive magnetron sputtering with a set of metal-Zn targets doped with various Na contents and under di

【作者】

：

JI Zhen-guo LIU Fang HE Hai-ya

【机构】

：

InstituteofElectronicInformation,StateKeyLaboratoryofSiliconMaterials

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2009年3期

【关键词】

：

P型ZNO薄膜直流磁控反应溅射薄膜制备稳定性锌掺杂钠盐场发射扫描电镜表征 p-type ZnO Na-doped electrical pro

【基金项目】

：

Natural Science Foundation （60576063）, Science and Technology Project of Zhejiang province （2008F70015）.

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Na-doped p-type ZnO thin films have been realized by DC reactive magnetron sputtering with a set of metal-Zn targets doped with various Na contents and under different substrate temperatures, respectively. Hall effect measurement, field-emission SEM, X-ra

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