【摘 要】
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采用卷对卷工艺制备了叠层非晶硅/非晶硅锗（a-Si/a-SiGe）电池,采用激光刻划与丝网印刷实现集成串联,形成柔性薄膜电池集成串联组件。研究了SiGe电池渐变带隙、柔性衬底nip倒结构激光刻划、反向脉冲电治疗,并用以改善柔性薄膜电池集成内联组件性能。集成组件有5个子电池内部串联而成,有效面积转换效率达5.424%（AM0,100.1cm2）,开路电压达7.156V。
【基金项目】
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国家“863”（2011AA050503）； 上海市科技成果转化与产业化（12dz1201100）资助项目；
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采用卷对卷工艺制备了叠层非晶硅/非晶硅锗（a-Si/a-SiGe）电池,采用激光刻划与丝网印刷实现集成串联,形成柔性薄膜电池集成串联组件。研究了SiGe电池渐变带隙、柔性衬底nip倒结构激光刻划、反向脉冲电治疗,并用以改善柔性薄膜电池集成内联组件性能。集成组件有5个子电池内部串联而成,有效面积转换效率达5.424%（AM0,100.1cm2）,开路电压达7.156V。
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