【摘 要】
：
用诱导型等离子体辅助磁控溅射装置在Si(100)表面低温沉积TiN膜,研究了高密度低能量(≈20 eV)离子束辅照对溅射镀TiN膜生长、结构和性能的影响.结果表明,高密度低能离子束辅
【机 构】
：
上海交通大学材料科学与工程学院,近畿大学
论文部分内容阅读
用诱导型等离子体辅助磁控溅射装置在Si(100)表面低温沉积TiN膜,研究了高密度低能量(≈20 eV)离子束辅照对溅射镀TiN膜生长、结构和性能的影响.结果表明,高密度低能离子束辅照会改变TiN膜的择优生长方向并使薄膜致密化.即使沉积温度低于150℃,当入射基板离子数和Ti原子数的比值Ji/JTi≥4.7时,沉积的TiN膜仍可具有完全的(200)面择优生长,薄膜微观结构致密,硬度达到25 GPa,残余压应力小.
其他文献
在纯物质相场模型中,采用计算效率较高的邻界面点相场大梯度计算域控制法,模拟了纯金属在无量纲过冷度为0.55熔体中等轴枝晶的生长演化过程,得到与实验观察相符合的等轴枝晶
鸡新城疫、传染性法氏囊病及球虫病是影响肉仔鸡健康生长的重要疫病，如果免疫和防治措施不适时．将会给养鸡业带来巨大的经济损失，笔者在临床诊疗中发现了较为典型的肉仔鸡新城疫
对均匀弥散分布着γ氢化物的低氢含量的工业纯钛进行循环疲劳试验.发现滑移带能够穿过氢化物的共格界面,使氢化物发生塑性剪切变形.由于位错周围的氢气团能够在位错的拖拽下,
基于课堂访谈与问卷调查数据,实证研究了西方经济学课程双语教学中的问题。研究结论,一是师资匮乏,认识有偏差,知识结构有缺陷,教学方法落后,教学管理薄弱;二是学生学习态度
以山东莱钢1号高炉和山西临钢6号高炉在线采集的[Si]时间序列为样本空间，容量为1000炉数据，利用相空间重构技术和G—P算法，得出莱钢1号高炉和临钢6号高炉冶炼过程的混沌吸引子的