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以某国产200mm（8英寸）砂轮划片机光学系统为例，以CCD为检测物并以国外进口同级别设备光学图像为参考标准。通过与进口设备对比，分析环形光源对成像的影响因素，研究应用几何光学原理，实现成像质量的提高。
光学系统中环形光源对半导体成像影响研究
【摘 要】
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以某国产200mm（8英寸）砂轮划片机光学系统为例，以CCD为检测物并以国外进口同级别设备光学图像为参考标准。通过与进口设备对比，分析环形光源对成像的影响因素，研究应用几何光学原
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年9期
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