正交法在表面原子结构研究中的应用

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正交试验法在工农业生产中的作用是无可怀疑的.它在日本已得到相当广泛的普及,在我国正在逐步得到推广.但这个方法在科学研究领域内,尤其在美国等西方国家的科学界里却几乎完全没有受到注意.我们在半导体表面原子结构分析中首次应用正交试验方法的成功有力地说明了在科研领域里,甚至在基础科学研究领域里,正交试验亦大有用武之地,也是十分必要的. 表面原子结构的确定,无论是从半导体物理基础研究的角度还是从大规模集成电路的实际应用角度来看都是十分重要的。所以在美国最大的儿家研究机构如BELL实验室、IBM实验室等都投入了巨大的
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