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《半导体制造技术》主要讲述半导体集成电路的制造全过程。该课程专业性强，涉及到的专业知识面广，但是课时数少，笔者根据教学经验，从课堂教学手段，实践教学等方面提出了一些方法与措施，在解决课时数少和知识点多的同时，激发学生兴趣以及积极性，培养学生系统的思维方法。
半导体制造技术教学方法探讨
【摘 要】
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《半导体制造技术》主要讲述半导体集成电路的制造全过程。该课程专业性强，涉及到的专业知识面广，但是课时数少，笔者根据教学经验，从课堂教学手段，实践教学等方面提出了一些方法与
【机 构】
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河南科技大学电子信息工程学院
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2011年33期
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