【摘 要】
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为系统研究纳米尺度材料中的界面分层破坏行为,基于悬臂梁弯曲法,利用聚焦离子束技术,从宏观多层薄膜材料（硅/铜/氮化硅,Si/Cu /SiN）中制备出了不同类型的（直、扭转）纳米悬臂梁试
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为系统研究纳米尺度材料中的界面分层破坏行为,基于悬臂梁弯曲法,利用聚焦离子束技术,从宏观多层薄膜材料（硅/铜/氮化硅,Si/Cu /SiN）中制备出了不同类型的（直、扭转）纳米悬臂梁试样,用以开展相应的实验研究.之后,在透射电子显微镜中分别对直纳米悬臂梁和扭转纳米悬臂梁试样进行原位加载实验.在直纳米悬臂梁试样中,Cu/Si界面受到由弯矩导致的拉应力而发生分层破坏;在扭转纳米悬臂梁试样中,通过改变加载点的位置调整界面上正应力与剪应力的比值,开展了不同复合型的界面裂纹启裂实验.利用有限元法分析了临界载荷作用下
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