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针对光学投影式检测非球面器件过程进行模拟,利用光学的基本理论和数学公式推导,对非球面度的检测过程进行了理论分析及精密计算,并对理论分析的结果进行了计算模拟,模拟得到的非球面度能较好地与理论结果相符合,模拟的精度达到了0.1nm.
光学投影式检测非球面器件的模拟计算
【摘 要】
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针对光学投影式检测非球面器件过程进行模拟,利用光学的基本理论和数学公式推导,对非球面度的检测过程进行了理论分析及精密计算,并对理论分析的结果进行了计算模拟,模拟得到
【机 构】
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西安工业学院光电科学与工程学院,西安工业学院光电科学与工程学院
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2005年1期
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