红外移相干涉仪中移相器的非线性校正

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zcat16
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本文介绍了一种应用于红外移相干涉仪的移相器的位移分段非线性校正方法.该装置由压电晶体微位移器PZT及其驱动电源和控制器组成,位移的非线性从校正前的9.6%降低到0.4%.
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