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目的 研究微型管道的流量测量技术。方法 采用热膜技术,在石英玻璃棒上镀一层铂电阻膜,利用激光将铂膜蚀刻成特定的形状,形成4个独立的铂电阻,并构成一基本的电桥,电桥通过一定的电流后产生热量,由于液体流动的作用会使4个铂电阻间产生一定的温差,从而导致电桥失衡,产生一定的输出电势。结果 研制出的流量传感器的各项技术指标满足设计要求。结论 微型流量传感器与传统的传感器相比,在性能上有了较大的提高,并且具有