表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liugang

【摘要】

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本文使用Raman光谱和X-射线光电子能谱(XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究.采用4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行

【作者】

：

黄卫东詹如娟

【机构】

：

中国科学院结构分析开放实验室

【出处】

：

光谱学与光谱分析

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

表面波等离子体沉积类金刚石膜结构 XPS 类金刚石 RAMAN光谱 X-射线光电子能谱 diamond-like carbon Raman spectru

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本文使用Raman光谱和X-射线光电子能谱(XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究.采用4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理,并由此对膜中sp3键的百分含量PD进行了定量计算;同时还采用3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算.两种方法均得到膜中sp3含量在20%～40%之间,且随沉积时间的增加而增加.

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