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为了解决现有硅单晶炉副炉室清理中存在的问题,提高清炉的效率,降低工人的劳动强度,设计了一种方便的清炉机构。该机构操作简单、方便、实用。
硅单晶炉副室清炉机构设计
【摘 要】
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为了解决现有硅单晶炉副炉室清理中存在的问题,提高清炉的效率,降低工人的劳动强度,设计了一种方便的清炉机构。该机构操作简单、方便、实用。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2008年12期
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