PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qingcongll

【摘要】

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在PCR生物芯片的制作过程中,微反应腔制作是关键部分之一.本文利用硅基微机械加工工艺,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作.通

【作者】

：

刘大震闫卫平郭吉洪杜立群

【机构】

：

大连理工大学电子工程系,大连理工大学微系统研究中心

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

微反应腔湿法腐蚀干法刻蚀温度场分布

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在PCR生物芯片的制作过程中,微反应腔制作是关键部分之一.本文利用硅基微机械加工工艺,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作.通过扫描电镜分析,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体.本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析.

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