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介绍了采用气相沉积法在线镀膜工艺,在稳定镀膜质量的基础上尽量延长持续镀膜生产时间,通过试验研究获得镀膜与持续时间最佳工艺参数为反应温度 654±2℃,硅烷流量1.6 m3/h,乙烯流量3.19l/min,抽气压力保持 -15 Pa,初始距离2mm拉引速度420m/h,可持续生产时间20±0.5 h.