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FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的Φ200／Φ300mm MAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微粒去除能力及刻蚀均匀度。该机台将用于芯片生产，预计将于FSI国际的2007财年上半年发运。
FSI国际收到美国领先的IC制造商多套MAGELLAN 浸泡式清洗系统订单
【摘 要】
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FSI国际有限公司日前宣布：一家世界领先的美国IC制造商已经向其发出一份订单，订购多套该公司的Φ200／Φ300mm MAGELLAN浸泡式清洗系统，此项订单缘于MAGELLAN系统领先同类产品的微
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年7期
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