乙炔-氧气火焰沉积高质量、致密金刚石厚膜

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lixinghui318

【摘要】

：

通过实验分析了沉积温度、乙炔 -氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚膜的生长过程 The effects of deposition temperature, acetylene-oxygen flow rate

【作者】

：

张宏志姚英学陈朔冬

【机构】

：

哈尔滨工业大学!150001,哈尔滨工业大学!150001,哈尔滨工业大学!150001

【出处】

：

新技术新工艺

【发表日期】

：

2000年04期

【关键词】

：

金刚石厚膜燃焰法 CVD

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通过实验分析了沉积温度、乙炔 -氧气流量配比对金刚石厚膜质量的影响及高质量金刚石厚膜的生长过程 The effects of deposition temperature, acetylene-oxygen flow rate on the quality of diamond thick film and the growth of high quality diamond thick film were analyzed experimentally

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