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通过对微氮ＣＺ硅单晶中氧沉积性质的研究表明，在氮一氮对（Ｎ－Ｎ）浓度为９×１０＾１５／ｃｍ＾３且经去热施主预热处理的样品中，氮对氧的沉积没有增强作用，因此，在实用的微氮ＣＺ硅单晶中的氮杂质不会对三步本征吸杂产生不利影响。
微氮CZ硅单晶中氧沉积的研究
【摘 要】
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通过对微氮ＣＺ硅单晶中氧沉积性质的研究表明，在氮一氮对（Ｎ－Ｎ）浓度为９×１０＾１５／ｃｍ＾３且经去热施主预热处理的样品中，氮对氧的沉积没有增强作用，因此，在实用的微氮ＣＺ硅单晶中的氮杂质不会对三步本征吸
【机 构】
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四川大学物理系
【出 处】
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四川大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1998年1期
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