【摘 要】
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从电磁理论出发解释了片上电感电流分配的原因，得出小横界面积金属的趋肤效应弱，大的金属线宽和相邻金属间距比的偶耦合临近效应小的结论．采用4层金属的0．35μm标准CMOS工艺制造
【机 构】
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复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室
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从电磁理论出发解释了片上电感电流分配的原因，得出小横界面积金属的趋肤效应弱，大的金属线宽和相邻金属间距比的偶耦合临近效应小的结论．采用4层金属的0．35μm标准CMOS工艺制造片上电感，将差分电感的单电流路径，分成多电流路径并联，在保持了电感的电学对称性的前提下，抑制了电感的电流拥挤效应，电感的最大品质因数提高了40％，同时降低了其自谐振频率．
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