用于大平板测量的激光平面度仪

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“激光平面度仪”是以空间自动安平的激光面作基准.以光电测头自动跟踪被测面.通过计算机控制和数据处理及输出的新型几何面型测量仪器。该仪器的研制成功,解决了平面测量过程“统一基准测量”这个国标难题;使得几何面型测量实现高精度智能化,并能带加工中心实现面型“光控加工”.论文对仪器工作原理、主要部件设计、仪器精度进行了分述和计算.
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