无油排气质谱

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一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附泵或带分子筛吸附阱的机械泵为前级,以冷钛泵为主泵、钛升华泵为辅泵。这样的组成方案目前在电真空器件的研制单位、包括使用无油真空技术制作发射 First, the oil-free exhaust system Since 1974, with the assistance of the Beijing Instrument Factory, we have assembled an oil-free vacuum system dedicated to high-power launch tube exhaust, (1) the system to two adsorption pump or belt Molecular sieve adsorption trap mechanical pump for the previous stage, with cold titanium pump-based pump, titanium sublimation pump for the auxiliary pump. Such a composition scheme is currently in the development of electrical vacuum devices, including the use of oil-free vacuum technology to produce emissions
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