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用常压等离子体射流处理不同含水率的聚乙烯醇（PVA）薄膜，通过扫描电镜（SEM）观察薄膜表面形态，并用红外光谱测试仪（FTIR）、X光电子能谱仪（XPS）、X射线衍射仪（XRD）分析了等离子体处理前后含水率为1．85％（1．85％MC）及41．33％（41．33％MC）两种薄膜化学及结晶结构的变化。结果表明，水分可加速氦气／氧气等离子体对PVA刻蚀及氧化，其中刻蚀速率达0．68um／min，氧含量从30．8％提高到34．8％；经过处理的薄膜结晶度增加了48％。