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期刊论文
用于工艺流程自动生成的排序算法
用于工艺流程自动生成的排序算法
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fremar
【摘 要】
:
文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息,利用工艺库,得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLSI制造的工艺流程卡自动生成。
【作 者】
:
严利人
王强
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
集成电路
工艺流程卡
自动排序算法
工艺库
WT5”BZ]ICprocess
Processflowchart
Sortingalgorthm
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文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息,利用工艺库,得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLSI制造的工艺流程卡自动生成。
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